KSSM系列真空伺服馬達 | 應用於真空光學濺射

● 安全煞車

●48/110VDC 繞組電壓

●客製化電纜長度

真空光學濺鍍是製造高品質光學薄膜（例如減反射塗層、高反射塗層和光學濾波器）的關鍵工藝，要求鍍膜腔維持在10⁻⁷ Pa的超高真空度，以防止殘留氣體分子影響薄膜純度和界面品質。在此過程中，工件夾具需要連續旋轉、傾斜或沿著複雜軌跡移動，以實現均勻的薄膜厚度分佈和優異的光學性能。 KSSM系列真空伺服馬達是驅動此類運動的理想選擇。作為一款專業的真空伺服電機，KSSM系列在10⁻⁷ Pa超高真空下可長時間可靠運行，其不銹鋼外殼和特殊的密封設計確保了極低的材料逸氣率，從而防止因逸氣而導致的真空度下降或光學薄膜污染。與傳統馬達不同，這款真空伺服馬達採用耐高溫繞組和專為真空環境設計的低波動潤滑系統，即使在高達 260℃ 的工作溫度下進行烘烤脫氣工藝，也能保持穩定可靠。在實際鍍膜過程中，KSSM 系列真空伺服馬達直接安裝在真空腔內，驅動光學鍍膜罩或平面靶基台，實現“腔內直接驅動”，無需複雜的動態密封，也避免了傳統饋通機構帶來的額外扭矩損失。此真空伺服馬達配備旋轉變壓器作為回授元件，具有極強的抗電磁幹擾能力，即使在等離子輝光放電或離子源轟擊產生的強電磁雜訊環境下，也能提供精確的速度和位置訊號。對於需要深度低溫冷卻的光學鍍膜工藝，KSSM 系列真空伺服電機可適應 -196℃ 的極低溫環境，確保潤滑油不會凝固，輸出功率也不會在液態氮冷卻腔內降低。多台真空伺服馬達可協同工作，實現多軸同步控制，從而實現光學元件的複雜軌跡掃描鍍膜。採用KSSM系列真空伺服馬達後，光學鍍膜設備無需外部馬達和磁流體密封，顯著降低了系統複雜性和洩漏風險。從深紫外線到遠紅外線，從消費級鏡頭到航空航天級光學載荷，真空伺服馬達的應用使得高品質光學薄膜的大量生產成為可能。 KSSM系列真空伺服馬達兼具超高真空相容性和超寬溫度範圍適應性的雙重優勢，已成為真空光學濺射設備的核心運動部件，充分展現了真空伺服馬達在現代光學製造技術中的關鍵價值。