低溫環境解決方案
選項
● 安全煞車
●48/110VDC 繞組電壓
●客製化電纜長度
訂購資訊
① 產品系列
KSSM系列伺服電機
② 繞組電壓
48=48VDC
220=220VAC
380=380VAC
③ 行程長度
400 = 400瓦
750 = 750瓦
1800 = 1800瓦
3800 = 3800瓦
④ 安全煞車
空白 = 沒有安全煞車
B = 安全制動
⑤ 環境溫度等級
| 環境溫度等級代碼 | 溫度範圍（℃） | 真空級 （Pa，可選） | 輻射抗性 （Gy，可選） |
| RHT | -20～+200 | 10-3 | 106 |
| 舒爾特 | -20～+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20～+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40～+85 | 10-3/10-5 | - |
| NTL2 | -60～+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65～+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -60～+150 | - | - |
| NTL5 | -80～+40 | 10-3 | - |
| SLT* | -196～+40 | 10-3/10-3/10-3 | - |
| 左*高* | 客製化 | 客製化 | 客製化 |
*建議KSSM伺服馬達在SLT溫度範圍（-196至+40℃）內運轉時，轉速限制在最高300rpm。詳情請與我們聯絡。
⑥ 真空級
空白 = 非真空
V3 = 低壓或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
⑦ 抗輻射能力
空白 = 無抗輻射能力
RH = 抗輻射能力（總劑量 106Gy）
描述
在先進的半導體製造廠中，晶圓搬運機器人必須在維持在 10⁻⁷ Pa 的製程腔室內執行精確的拾取和放置操作。 KSSM 系列真空高低溫耐輻射伺服馬達專為滿足這些極端要求而設計。此伺服馬達採用不銹鋼外殼和專有的密封技術，使其氣體逸出率極低，從而確保超高真空的完整性不受損害。在 -196℃ 至 +260℃ 的溫度範圍內，無論浸入液態氮中或經受後處理烘烤，此伺服馬達都能提供穩定的扭力。對於存在散射 X 射線或電子束的環境，得益於抗輻射絕緣、潤滑和反饋組件，該裝置可承受 1×10⁶ Gy 的累積劑量。基於旋轉變壓器的回授系統可提供絕對位置數據，同時抑制來自附近等離子體源的電磁幹擾。 KSSM系列真空高低溫耐輻射伺服馬達直接安裝在機械手臂關節處，無需磁流體饋通，從而降低了機械結構的複雜性並提高了動態響應能力。每台KSSM系列真空高低溫耐輻射伺服馬達在出廠前均經過真空烘烤和輻射老化處理，確保在大量生產環境中穩定運作。採用此系列真空高低溫耐輻射伺服馬達顯著提高了晶圓傳輸的可靠性，並減少了破損事故的發生。無論配置用於200毫米或300毫米平台，KSSM系列真空高低溫耐輻射伺服馬達都能提供可靠的運動解決方案。因此，該系列真空高低溫耐輻射伺服馬達已成為現代晶圓處理的關鍵部件，鞏固了其在半導體前端加工中的重要地位。
① 產品系列
KSSM系列伺服電機
② 繞組電壓
48=48VDC
220=220VAC
380=380VAC
③ 行程長度
400 = 400瓦
750 = 750瓦
1800 = 1800瓦
3800 = 3800瓦
④ 安全煞車
空白 = 沒有安全煞車
B = 安全制動
⑤ 環境溫度等級
| 環境溫度等級代碼 | 溫度範圍（℃） | 真空級 （Pa，可選） | 輻射抗性 （Gy，可選） |
| RHT | -20～+200 | 10-3 | 106 |
| 舒爾特 | -20～+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20～+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40～+85 | 10-3/10-5 | - |
| NTL2 | -60～+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65～+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -60～+150 | - | - |
| NTL5 | -80～+40 | 10-3 | - |
| SLT* | -196～+40 | 10-3/10-3/10-3 | - |
| 左*高* | 客製化 | 客製化 | 客製化 |
*建議KSSM伺服馬達在SLT溫度範圍（-196至+40℃）內運轉時，轉速限制在最高300rpm。詳情請與我們聯絡。
⑥ 真空級
空白 = 非真空
V3 = 低壓或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
⑦ 抗輻射能力
空白 = 無抗輻射能力
RH = 抗輻射能力（總劑量 106Gy）
技術規格
KSSM-XX-400：額定功率400W，繞組電壓48VAC或220VAC
| 額定功率 （在） | 繞組電壓 （五） | 額定扭矩 （牛頓米） | 峰值扭矩 （牛頓米） | 額定速度 （轉/分） | 最高速度 （轉/分） | 額定電流 （武器） | 峰值電流 （武器） | 慣性 （公斤·平方公分） | 大量的 （公斤） |
| KSSM-48-400 | 48V直流 | 1.27 | 3.8 | 3000 | 5000 | 11 | 33 | 0.32 | 2.4 |
| KSSM-220-400 | 220伏特交流電 | 1.27 | 2.5 | 3000 | 5000 | 2.8 | 6.4 | 0.32 | 2.4 |
尺寸圖
技術規格
KSSM-XX-750：額定功率750W，繞組電壓48VAC或220VAC
| 額定功率 （在） | 繞組電壓 （五） | 額定扭矩 （牛頓米） | 峰值扭矩 （牛頓米） | 額定速度 （轉/分） | 最高速度 （轉/分） | 額定電流 （武器） | 峰值電流 （武器） | 慣性 （公斤·平方公分） | 大量的 （公斤） |
| KSSM-48-750 | 48V直流 | 2.39 | 4.8 | 3000 | 4000 | 16 | 48 | 1.32 | 4.2 |
| KSSM-220-750 | 220伏特交流電 | 2.39 | 4.8 | 3000 | 5000 | 3.5 | 7 | 1.32 | 4.2 |
尺寸圖
技術規格
KSSM-380-1800：額定功率1800W，繞組電壓380VAC
| 額定功率 （在） | 繞組電壓 （五） | 額定扭矩 （牛頓米） | 峰值扭矩 （牛頓米） | 額定速度 （轉/分） | 最高速度 （轉/分） | 額定電流 （武器） | 峰值電流 （武器） | 慣性 （公斤·平方公分） | 大量的 （公斤） |
| KSSM-380-1800 | 380伏特交流電 | 6 | 18 | 3000 | 3500 | 3.5 | 10.5 | 5.1 | 8.6 |
尺寸圖
技術規格
KSSM-380-3800：額定功率 3800W，繞組電壓 380VAC
| 額定功率 （在） | 繞組電壓 （五） | 額定扭矩 （牛頓米） | 峰值扭矩 （牛頓米） | 額定速度 （轉/分） | 最高速度 （轉/分） | 額定電流 （武器） | 峰值電流 （武器） | 慣性 （公斤·平方公分） | 大量的 （公斤） |
| KSSM-380-3800 | 380伏特交流電 | 15 | 30 | 2500 | 2800 | 8 | 16 | 11.8 | 10.7 |
尺寸圖
