3C及半導體製造

半導體製造需要在極度潔淨的環境中進行，部分工序甚至需要在真空環境下完成。例如，許多半導體元件，如光碟驅動器（CD、VCD 和 DVD）、光纖通訊中使用的半導體雷射、雷達或衛星通訊設備中使用的微波積體電路，甚至許多普通的微電子積體電路，其大部分製造過程都是在真空腔內完成的。真空度越高，裝置的效能就越好。

半導體製造設備採用步進馬達、伺服馬達和精密機械傳動元件來實現製程的自動化和控制。同時，馬達和機械部件必須在超高真空（UHV）和高/低溫環境下長期可靠運行，且不釋放有害物質污染真空環境，這一點至關重要。